上海國(guó)際招標(biāo)有限公司關(guān)于科學(xué)儀器創(chuàng)新港能力建設(shè)項(xiàng)目(一期)原子層沉積設(shè)備采購的招標(biāo)公告
(招標(biāo)編號(hào):2526002019)
項(xiàng)目所在地區(qū):上海市
一、招標(biāo)條件
本科學(xué)儀器創(chuàng)新港能力建設(shè)項(xiàng)目(一期)原子層沉積設(shè)備采購已由項(xiàng)目審批/核準(zhǔn)/備案機(jī)關(guān)批準(zhǔn),項(xiàng)目資金來源為國(guó)有資金480萬元,招標(biāo)人為上海儀創(chuàng)港科技有限公司。本項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件,現(xiàn)招標(biāo)方式為公開招標(biāo)。
二、項(xiàng)目概況和招標(biāo)范圍
規(guī)模:原子層沉積設(shè)備
范圍:本招標(biāo)項(xiàng)目劃分為1個(gè)標(biāo)段,本次招標(biāo)為其中的:
(001)科學(xué)儀器創(chuàng)新港能力建設(shè)項(xiàng)目(一期)原子層沉積設(shè)備;
三、投標(biāo)人資格要求
(001科學(xué)儀器創(chuàng)新港能力建設(shè)項(xiàng)目(一期)原子層沉積設(shè)備)的投標(biāo)人資格能力要求:
(1) 在中華人民共和國(guó)境內(nèi)(不包括香港、澳門及中國(guó)臺(tái)灣地區(qū))登記成立的法人或非法人組織;
(2) 法人的分支機(jī)構(gòu)以自己的名義參與投標(biāo)時(shí),應(yīng)提供依法登記的相關(guān)證明材料和由法人出具的對(duì)該投標(biāo)活動(dòng)承擔(dān)全部直接責(zé)任的明確承諾;
(3) 投標(biāo)人應(yīng)為原子層沉積設(shè)備的專業(yè)制造商或是獲得原子層沉積設(shè)備制造商授權(quán)的代理商。如是代理商投標(biāo),則須提供原子層沉積設(shè)備制造商出具針對(duì)本項(xiàng)目的制造商授權(quán)書原件;
(4) 參加本次招標(biāo)活動(dòng)前三年內(nèi)(從2023年1月1日至今)未被列入嚴(yán)重失信主體、失信被執(zhí)行人或重大稅收違法失信主體,須提供"失信被執(zhí)行人"、“政府采購嚴(yán)重違法失信行為記錄名單”、"重大稅收違法失信主體"的三張查詢結(jié)果截圖;
(5) 投標(biāo)人的出資人(不含上市公司持股比例未達(dá)到5%的股東,下同)與本項(xiàng)目其他投標(biāo)人的出資人應(yīng)不相同(當(dāng)兩家以上投標(biāo)人的出資人中含有同一主體時(shí),將按一家有效投標(biāo)人計(jì)算,該投標(biāo)人為相關(guān)投標(biāo)人中通過初步評(píng)審且投標(biāo)報(bào)價(jià)最低的投標(biāo)人,其他投標(biāo)人將被判為無效投標(biāo)人);

（6）具備法律、行政法規(guī)規(guī)定的其他條件；

（7）本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。；

本項(xiàng)目不允許聯(lián)合體投標(biāo)。

四、招標(biāo)文件的獲取

獲取時(shí)間：從2026年01月08日15時(shí)00分到2026年01月13日15時(shí)00分
獲取方式：在上海國(guó)際招標(biāo)有限公司網(wǎng)站在線獲取招標(biāo)文件

五、投標(biāo)文件的遞交

遞交截止時(shí)間：2026年02月02日10時(shí)00分
遞交方式：上海市延安西路358號(hào)美麗園大廈20樓2001會(huì)議室紙質(zhì)文件遞交

六、開標(biāo)時(shí)間及地點(diǎn)

開標(biāo)時(shí)間：2026年02月02日10時(shí)00分
開標(biāo)地點(diǎn)：上海市延安西路358號(hào)美麗園大廈20樓2001會(huì)議室

七、其他

一、招標(biāo)條件

本招標(biāo)項(xiàng)目已由相關(guān)單位批準(zhǔn)，項(xiàng)目資金來源為國(guó)有企業(yè)投資，招標(biāo)人為上海儀創(chuàng)港科技有限公司。本項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，招標(biāo)方式為公開招標(biāo)。

二、項(xiàng)目概況和招標(biāo)范圍

本項(xiàng)目聚焦精密光學(xué)加工中心建設(shè)，對(duì)標(biāo)國(guó)際先進(jìn)水平，實(shí)現(xiàn)科學(xué)儀器關(guān)鍵零部件在地化生產(chǎn)，構(gòu)建精密制造能力閉環(huán)。
貨物名稱：原子層沉積設(shè)備
數(shù)量：1臺(tái)；
用途：用于在光學(xué)元件及精密零部件表面沉積高質(zhì)量、納米級(jí)厚度的功能性薄膜，實(shí)現(xiàn)原子層級(jí)的精確控制，用于制備光學(xué)增透膜、反射膜、保護(hù)膜以及特種光學(xué)涂層，顯著提升器件的光學(xué)性能、環(huán)境穩(wěn)定性和使用壽命。主要規(guī)格：

1. 核心功能與適用范圍：設(shè)備需用于沉積Al?O?、TiO?、SiO?等高質(zhì)量薄膜，適用于最大直徑300mm（12英寸）及以下的襯底/基底材料，兼容熱法及等離子體增強(qiáng)兩種工藝模式。
2. 腔體結(jié)構(gòu)與溫控性能：采用真空腔內(nèi)內(nèi)置反應(yīng)腔的雙腔體結(jié)構(gòu)，反應(yīng)腔需采用外部環(huán)繞對(duì)稱輻射加熱方式，確保腔內(nèi)溫度均勻性。熱法工藝最高加熱溫度不低于500℃，等離子工藝不低于300℃。
3. 前驅(qū)體輸送與處理系統(tǒng)：需配置≥2路加熱型前驅(qū)體源系統(tǒng)（溫度≥300℃）和≥3路常

溫液態(tài)源系統(tǒng),均具備精確溫控(精度≤±2℃)。管路系統(tǒng)需配置在線惰性氣體自動(dòng)凈化功能,并對(duì)有毒性氣體管路配備雙安全互鎖硬件。
4)真空、傳片與安全系統(tǒng)配置干式真空泵(極限壓力≤1.5×10?²Torr)及集成傳片裝置實(shí)現(xiàn)樣品在不破真空條件下傳送。配備具備自清潔功能的泵前尾氣過濾裝置,以處理并滅活反應(yīng)副產(chǎn)物。
5)等離子體增強(qiáng)功能 需集成1套電容耦合射頻(13.56MHz,功率≥300W)等離子體系統(tǒng),配備匹配器、專用氣體管路及集成蓋板,以支持等離子體輔助沉積工藝。
6)控制系統(tǒng)與工藝性能:采用PLC與計(jì)算機(jī)集成控制,具備實(shí)時(shí)工藝監(jiān)測(cè)、數(shù)據(jù)導(dǎo)出及安全互鎖功能。
具體的技術(shù)規(guī)格詳見本招標(biāo)文件第五章“采購需求”。
本次招標(biāo)的最高投標(biāo)限價(jià)為480萬元人民幣。
三、投標(biāo)人資格要求
(1) 在中華人民共和國(guó)境內(nèi)(不包括香港、澳門及中國(guó)臺(tái)灣地區(qū))登記成立的法人或非法人組織;
(2) 法人的分支機(jī)構(gòu)以自己的名義參與投標(biāo)時(shí),應(yīng)提供依法登記的相關(guān)證明材料和由法人出具的對(duì)該投標(biāo)活動(dòng)承擔(dān)全部直接責(zé)任的明確承諾;
(3) 投標(biāo)人應(yīng)為原子層沉積設(shè)備的專業(yè)制造商或是獲得原子層沉積設(shè)備制造商授權(quán)的代理商。如是代理商投標(biāo),則須提供原子層沉積設(shè)備制造商出具針對(duì)本項(xiàng)目的制造商授權(quán)書原件;
(4) 參加本次招標(biāo)活動(dòng)前三年內(nèi)(從2023年1月1日至今)未被列入嚴(yán)重失信主體、失信被執(zhí)行人或重大稅收違法失信主體,須提供“失信被執(zhí)行人”、“政府采購嚴(yán)重違法失信行為記錄名單”、“重大稅收違法失信主體”的三張查詢結(jié)果截圖;
(5) 投標(biāo)人的出資人(不含上市公司持股比例未達(dá)到5%的股東,下同)與本項(xiàng)目其他投標(biāo)人的出資人應(yīng)不相同(當(dāng)兩家以上投標(biāo)人的出資人中含有同一主體時(shí),將按一家有效投標(biāo)人計(jì)算,該投標(biāo)人為相關(guān)投標(biāo)人中通過初步評(píng)審且投標(biāo)報(bào)價(jià)最低的投標(biāo)人,其他投標(biāo)人將被判為無效投標(biāo)人);
(6) 具備法律、行政法規(guī)規(guī)定的其他條件;
(7) 本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

四、招標(biāo)文件的獲取

獲取時(shí)間:從 2026 年 1 月 8 日 15 時(shí) 00 分到 2026 年 1 月 13 日 15 時(shí) 00 分
獲取方式:在上海國(guó)際招標(biāo)有限公司網(wǎng)站在線獲取招標(biāo)文件。招標(biāo)文件每套售價(jià) 1000 元,售后不退。潛在投標(biāo)人首次使用該網(wǎng)站需進(jìn)行免費(fèi)注冊(cè),注冊(cè)時(shí)應(yīng)按要求提供《供應(yīng)商注冊(cè)專用授權(quán)函和承諾書》(可從供應(yīng)商注冊(cè)頁面下載)和營(yíng)業(yè)執(zhí)照等掃描件,供應(yīng)商應(yīng)當(dāng)提前準(zhǔn)備,盡早辦理,以免影響獲取招標(biāo)文件。已注冊(cè)的潛在投標(biāo)人可在登錄網(wǎng)站后通過快捷入口"項(xiàng)目公告"-“立即參與”-“提交資料”-“支付費(fèi)用”-"下載文件"獲取招標(biāo)文件。招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)會(huì)將紙質(zhì)招標(biāo)文件快遞給潛在投標(biāo)人,電子發(fā)票將發(fā)至投標(biāo)人登記的郵箱。未按規(guī)定獲取招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人將被拒絕參加投標(biāo)。

五、投標(biāo)文件的遞交

遞交截止時(shí)間:2026 年 2 月 2 日 10 時(shí) 00 分(北京時(shí)間)
遞交方式:上海市延安西路 358 號(hào)美麗園大廈 20 樓 2001 會(huì)議室紙質(zhì)文件遞交

六、開標(biāo)時(shí)間及地點(diǎn)

開標(biāo)時(shí)間:2026 年 2 月 2 日 10 時(shí) 00 分(北京時(shí)間)
開標(biāo)地點(diǎn):上海市延安西路 358 號(hào)美麗園大廈 20 樓 2001 會(huì)議室

七、其他

本項(xiàng)目為集中采購目錄以外且金額未達(dá)到分散采購限額標(biāo)準(zhǔn)的項(xiàng)目,不適用《中華人民共和國(guó)政府采購法》及其實(shí)施條例等政府采購的相關(guān)規(guī)定。

八、監(jiān)督部門

本招標(biāo)項(xiàng)目的監(jiān)督部門為上海儀創(chuàng)港科技有限公司。

九、聯(lián)系方式

招標(biāo)人:上海儀創(chuàng)港科技有限公司
地 址:上海市松江區(qū)莘磚公路 518 號(hào) 6 幢
聯(lián)系人:張艷
電 話:登錄后可見
電子郵件:登錄后可見
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu):上海國(guó)際招標(biāo)有限公司
地 址:上海市延安西路 358 號(hào)美麗園大廈 14 樓
聯(lián)系人:吳越、樊宏亮

電話: 登錄后可見
電子郵件:登錄后可見
八、監(jiān)督部門
本招標(biāo)項(xiàng)目的監(jiān)督部門為上海儀創(chuàng)港科技有限公司。
九、聯(lián)系方式
招標(biāo)人:上海儀創(chuàng)港科技有限公司
地 址:上海市松江區(qū)莘磚公路 518 號(hào) 6 幢
聯(lián)系人:張艷
電 話:登錄后可見
電子郵件:登錄后可見
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu):上海國(guó)際招標(biāo)有限公司
地 址: 上海市延安西路 358 號(hào) 14 樓
聯(lián)系人:吳越
電 話: 登錄后可見
電子郵件: 登錄后可見
招標(biāo)人或其招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)主要負(fù)責(zé)人(項(xiàng)目負(fù)責(zé)人): 吳越(簽名)
招標(biāo)人或其招標(biāo)代理機(jī)構(gòu): (蓋章)