在半導(dǎo)體、光電子及微納制造等高精密加工行業(yè)中，晶圓的涂膠、顯影、清洗等關(guān)鍵工藝需在ISO Class1級(jí)高度受控潔凈環(huán)境中完成傳輸與處理，此過(guò)程中任何微小的氣流擾動(dòng)（如局部渦流、風(fēng)速突變）或風(fēng)速異常（過(guò)高或過(guò)低），都可能引發(fā)嚴(yán)重問(wèn)題——風(fēng)速過(guò)低會(huì)導(dǎo)致潔凈區(qū)域污染物無(wú)法及時(shí)清除，增加晶圓表面污染風(fēng)險(xiǎn)；風(fēng)速過(guò)高易吹動(dòng)晶圓表面光刻膠涂層，造成圖案變形或缺陷；氣流擾動(dòng)還可能干擾晶圓機(jī)械傳輸精度，甚至引發(fā)設(shè)備卡滯故障，這些問(wèn)題最終會(huì)直接影響產(chǎn)品良率（可能導(dǎo)致良率下降10%以上）與工藝穩(wěn)定性。



因此，在設(shè)備腔體內(nèi)部開展精確、可重復(fù)、實(shí)時(shí)性的風(fēng)速監(jiān)測(cè)，成為保障工藝一致性、驗(yàn)證設(shè)備性能是否達(dá)標(biāo)及排查潛在風(fēng)險(xiǎn)的核心手段之一，而環(huán)境測(cè)試儀6531正是滿足這一核心需求的關(guān)鍵設(shè)備。
測(cè)試流程
為驗(yàn)證晶圓傳輸通道內(nèi)的氣流狀態(tài)是否符合工藝要求，采用高精度多參數(shù)環(huán)境測(cè)試儀6531，對(duì)以下關(guān)鍵參數(shù)進(jìn)行同步測(cè)量。
環(huán)境條件：
測(cè)試需在恒溫恒壓、ISOClass1級(jí)潔凈環(huán)境中進(jìn)行，可避免外部微粒干擾檢測(cè)，測(cè)試前需完成系統(tǒng)自凈與平衡。



風(fēng)速范圍：
涂膠/顯影類設(shè)備（涂膠機(jī)、顯影機(jī)、噴膠機(jī)）
此類設(shè)備在加工過(guò)程中需完成光刻膠涂覆、顯影液噴涂等精細(xì)操作，光刻膠涂層厚度通常以微米級(jí)計(jì)量，氣流速度過(guò)快會(huì)導(dǎo)致涂層表面產(chǎn)生波紋、邊緣堆積等缺陷，過(guò)慢則無(wú)法及時(shí)帶走涂膠/顯影過(guò)程中揮發(fā)的溶劑蒸汽，易致晶圓污染。因此風(fēng)速需嚴(yán)格控制在0.3–1.0m/s，且需保證氣流在腔體橫截面內(nèi)分布均勻。
清洗類設(shè)備（去膠機(jī)、單片清洗機(jī)）
清洗時(shí)需用化學(xué)試劑（硫酸、氫氟酸等）或高壓噴淋除膠層、雜質(zhì)，過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生化學(xué)蒸汽與微粒碎屑。風(fēng)速不足易使污染物附著，導(dǎo)致清洗不徹di；風(fēng)速過(guò)高則會(huì)吹亂噴淋水流，或讓殘留試劑快速揮發(fā)形成結(jié)晶污染。故風(fēng)速設(shè)定為1.0–1.5m/s，既能高效除污染物，又能維持腔體氣流穩(wěn)定，不干擾清洗工藝。
溫濕度：
溫度過(guò)高使光刻膠粘度下降、溶劑揮發(fā)快，影響涂膠均勻性；過(guò)低則降低清洗試劑活性，清洗效果變差；濕度過(guò)高易致設(shè)備金屬銹蝕、電氣短路，過(guò)低則產(chǎn)生靜電，吸附微粒污染晶圓。因此溫度需控制在25℃、濕度50%RH左右。
壓差：
內(nèi)壓過(guò)低，外部含塵空氣會(huì)滲入污染；過(guò)高則可能導(dǎo)致腔體密封件變形、氣流異常，影響設(shè)備運(yùn)行。不同設(shè)備壓差要求不同：涂膠機(jī)、顯影機(jī)密封性強(qiáng)，需穩(wěn)定氣流，壓差通常5–50Pa；去膠機(jī)、單片清洗機(jī)需加快揮發(fā)性氣體排出，壓差50–200Pa?？傮w壓差范圍1–200Pa（視設(shè)備類型定）。
測(cè)試方法：
1、采用網(wǎng)格布點(diǎn)法：參考ISO 14644-3標(biāo)準(zhǔn)，將FFU出風(fēng)面劃分為至少3×3或4×4的等面積網(wǎng)格；網(wǎng)格中心為采樣點(diǎn)，同時(shí)包含高效過(guò)濾器排風(fēng)口下方、腔體角落、晶圓傳輸路徑上方等關(guān)鍵區(qū)域。取測(cè)試截面的平均風(fēng)速，判斷是否符合要求。



2、調(diào)整6531探頭使其正對(duì)來(lái)風(fēng)方向，測(cè)點(diǎn)距離FFU出風(fēng)面 15~30cm（視設(shè)備機(jī)臺(tái)內(nèi)情況可做調(diào)整）。
3、調(diào)整6531探頭至每個(gè)網(wǎng)格中心點(diǎn)位置，建議每次測(cè)量時(shí)間應(yīng)≥10秒，多次測(cè)量，取風(fēng)速數(shù)據(jù)的平均值進(jìn)行記錄。
4、結(jié)束測(cè)試，對(duì)采集的數(shù)據(jù)記錄進(jìn)行計(jì)算分析。
注意：測(cè)試時(shí)設(shè)備應(yīng)保持良好的密封性，避免因測(cè)試過(guò)程中腔體密封不良改變FFU出風(fēng)的氣流大小及流向，影響測(cè)試結(jié)果的可信度。



測(cè)試效果：
實(shí)測(cè)表明，環(huán)境測(cè)試儀6531可精準(zhǔn)驗(yàn)證潔凈腔體氣流穩(wěn)定性，有效保障高潔凈工藝環(huán)節(jié)的晶圓傳輸安全與工藝一致性；同時(shí)，其多參數(shù)同步監(jiān)測(cè)與長(zhǎng)期數(shù)據(jù)積累為設(shè)備調(diào)試、驗(yàn)收及維護(hù)提供了可靠依據(jù)，顯著提升了產(chǎn)線良率與運(yùn)行效率。
儀器性能及應(yīng)用
智能型環(huán)境測(cè)試儀65Ser，風(fēng)速、風(fēng)量、溫度、濕度、壓力同時(shí)測(cè)試，可輸入管道截面的形狀及尺寸從而計(jì)算出風(fēng)量，測(cè)試數(shù)據(jù)保持功能、統(tǒng)計(jì)計(jì)算（平均值、最大值、最小值），數(shù)據(jù)最多存儲(chǔ)20,000個(gè)，8種探頭可供選擇，探頭互換兼容。



KANOMAX環(huán)境測(cè)試儀65Ser廣泛應(yīng)用于通風(fēng)測(cè)試、實(shí)驗(yàn)室控制、潔凈室檢測(cè)、IAQ評(píng)估、工業(yè)衛(wèi)生、質(zhì)量控制等，保障工藝安全與產(chǎn)品質(zhì)量。