干式真空機(jī)組，也稱為干式機(jī)械泵，是指泵能夠從大氣壓力開(kāi)始吸入，將吸入的氣體直接排放到大氣中，泵腔內(nèi)沒(méi)有油或其他作業(yè)介質(zhì)，泵的極限壓力與油封式真空泵適當(dāng)或接近的機(jī)械真空泵。

　　關(guān)于一般無(wú)油真空體系，能夠在油封式真空泵上添加冷圈套或吸附圈套等附件，以避免逆流，但不能解決問(wèn)題，會(huì)使體系復(fù)雜化。在適合的環(huán)境，運(yùn)用適合的干式真空機(jī)組，能夠使設(shè)備的運(yùn)用作用愈加抱負(fù)。

干式真空機(jī)組的作業(yè)原理是什么？下面我們一起分析一下。

　　1) 干式螺桿真空泵

　　干式螺桿真空泵是使用一對(duì)螺釘在泵殼體上一起高速反向旋轉(zhuǎn)而發(fā)生的具有吸入和排氣效果的進(jìn)氣設(shè)備，兩個(gè)螺釘通過(guò)細(xì)微的動(dòng)平衡校對(duì)，由軸承支撐，安裝在泵殼體上，螺釘和螺釘之間有必定的間隙，因此泵作業(yè)時(shí)彼此無(wú)沖突，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，噪音小，運(yùn)轉(zhuǎn)腔不需要潤(rùn)滑油。通常被用來(lái)作為油封式、水環(huán)式、噴射式真空泵的替代產(chǎn)品。

　　2) 無(wú)油往復(fù)真空泵

　　活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)定期改動(dòng)泵腔（缸）的作業(yè)容積吸入的真空泵，又稱活塞真空泵。往復(fù)真空泵的結(jié)構(gòu)類似于往復(fù)活塞緊縮機(jī)。作業(yè)時(shí)，吸入管連接在真空容器上，排氣管直通大氣。往復(fù)真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結(jié)晶、真空過(guò)濾、真空枯燥、混凝土真空操作等。

　　3) 爪真空泵

　　爪真空泵由多級(jí)轉(zhuǎn)子組成，每級(jí)有兩個(gè)轉(zhuǎn)子，兩個(gè)轉(zhuǎn)子反方向轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)氣口連接泵腔，泵腔體積增大，開(kāi)端吸入，轉(zhuǎn)子封閉進(jìn)氣口時(shí)，吸入結(jié)束，泵腔變小，氣體緊縮。排氣孔打開(kāi)后，泵排出，排氣孔封閉后，排出完結(jié)，循環(huán)。

　　4) 無(wú)油渦旋真空泵

　　無(wú)油渦旋真空泵的漩渦盤(pán)由一端與平面相接的一個(gè)或多個(gè)螺旋組成漩渦狀盤(pán)結(jié)構(gòu)。由靜態(tài)旋渦盤(pán)和移動(dòng)旋渦盤(pán)組成的一對(duì)渦旋盤(pán)付構(gòu)成了旋渦無(wú)油真空的根本吸入結(jié)構(gòu)。例如，在兩級(jí)無(wú)漩渦油真空泵中，有對(duì)應(yīng)于兩個(gè)方向的固定漩渦盤(pán)和兩個(gè)旋渦盤(pán)之間的旋轉(zhuǎn)漩渦盤(pán)。移動(dòng)、靜態(tài)渦旋盤(pán)相對(duì)運(yùn)動(dòng)構(gòu)成容積不斷改變的新月形真空腔，從進(jìn)氣口吸入空氣，從出氣口排出，完結(jié)排氣循環(huán)。