ET-R101FS型激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器(在線)
品牌:etiedt奕泰凈科

一、概述:
ET-R101FS型激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器,是蘇州奕泰環(huán)境科技有限公司在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的產(chǎn)品之一。檢測(cè)最小粒徑檔可達(dá)0.1μm,可檢測(cè)ISO7-ISO1的潔凈環(huán)境,采樣流量2.83L/min,專為半導(dǎo)體行業(yè)高精度潔凈環(huán)境檢測(cè)設(shè)計(jì),突破傳統(tǒng)精度局限,精準(zhǔn)捕捉光刻膠揮發(fā),設(shè)備磨損產(chǎn)生的亞微米污染顆粒,滿足納米制程對(duì)ISO1級(jí)潔凈度的嚴(yán)苛要求。儀器具有檢測(cè)精度高,人機(jī)界面友好,功能豐富,操作簡(jiǎn)單。
本產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、光學(xué)、新能源、精密機(jī)械,化學(xué)、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物制品、航空航天,等部門。
二、特點(diǎn):
◆304不銹鋼殼體(可定制航空鋁材)
◆5.0超大高清彩色觸控屏,操作簡(jiǎn)單
◆最小檢測(cè)粒徑0.1μm,八通道
◆約500萬條數(shù)據(jù)存儲(chǔ)+USB數(shù)據(jù)導(dǎo)出+云端互聯(lián)
◆支持SCADA/MES系統(tǒng)對(duì)接
◆ESD安全智能電源管理系統(tǒng)
◆ISO 14644-1潔凈度等級(jí)報(bào)告自動(dòng)生成
◆主動(dòng)流量控制PID自動(dòng)調(diào)節(jié)
◆防爆需求定制,防爆僅針對(duì)于外殼防爆,具體根據(jù)客戶需求進(jìn)行一對(duì)一定制。
三、性能:
◆采樣流量:2.83L/min ±5% (0.1 CFM)
◆粒徑分布誤差;國優(yōu)±20%FS
◆示值濃度誤差;國優(yōu)±20%FS
◆自凈時(shí)間;國優(yōu)≤8min
◆重復(fù)性相對(duì)誤差;國優(yōu)≤8%FS
◆采樣濃度,35000顆/升
◆至少5,000,000條采樣數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
四、應(yīng)用:
半導(dǎo)體潔凈廠房檢測(cè);
晶圓封裝產(chǎn)品線監(jiān)測(cè);
光刻產(chǎn)線監(jiān)測(cè);
精密光學(xué);
新能源;
航空航天;
五、技術(shù)參數(shù):
采樣流量 | 2.83L/min |
粒子粒徑分檔 | 八通道:0.1μm,0.15μm,0.2μm,0.25μm,0.3μm,0.5μm, 1.0μm, 5.0μm |
激光光源 | 長(zhǎng)壽命的激光二極管,壽命>35,000小時(shí) |
采樣濃度 | 1000,000個(gè)/立方英尺 |
采樣模式 | 連續(xù)采樣+實(shí)時(shí)計(jì)數(shù)、間隔采樣、累計(jì)計(jì)數(shù) |
計(jì)數(shù)效率 | 50%@0.1μm;100%@>0.15μm符合ISO21501-4 |
采樣延時(shí) | 用戶自設(shè)定 |
采樣間隔 | 用戶自設(shè)定 |
通訊協(xié)議 | Modbus |
通訊方式 | RS485、Internet |
數(shù)據(jù)內(nèi)存容量 | 約500萬組測(cè)量數(shù)據(jù),可查詢,導(dǎo)出 |
屏幕顯示 | 5.0彩色高清觸摸屏 |
打印方式 | 在線款不支持 |
電 源 | DC12V(9-28VDC)輸出功率不低于12V3A |
參考標(biāo)準(zhǔn) | ISO 21501-4、GBT29024.4-2017、JJF1190-2008 |
數(shù)據(jù)通訊接口 | USB(直接導(dǎo)出或IOT在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)查看),RS485、RJ45 |
環(huán) 境 | 使用環(huán)境:10∽40℃ 相對(duì)濕度 20∽95%RH |
儲(chǔ)存環(huán)境:-20℃∽45℃ 相對(duì)濕度0∽95%RH | |
大氣壓力:86—106kPa | |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 等動(dòng)力采樣頭,采樣頭軟管,自凈過濾器,使用說明書,原廠校準(zhǔn)報(bào)告,合格證等 |
外形尺寸 | 寬220mm×高162mm×深130mm(不含采樣口、報(bào)警燈) |
材 質(zhì) | 304不銹鋼 |
重 量 | 2.8Kg |
六、etiedt奕泰凈科:
蘇州奕泰環(huán)境科技有限公司國產(chǎn)潔凈環(huán)境檢測(cè)儀器智能化創(chuàng)新應(yīng)用專業(yè)前沿企業(yè);
進(jìn)口儀器國產(chǎn)化替代品牌新勢(shì)力;
國內(nèi)凈化品牌服務(wù)商,凈化優(yōu)質(zhì)服務(wù)商;
潔凈微環(huán)境智能監(jiān)測(cè)儀器全套解決方案專業(yè)企業(yè)
半導(dǎo)體潔凈環(huán)境檢測(cè),奕泰凈科E系列激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)等級(jí)可滿足十級(jí)至三十萬級(jí)環(huán)境檢測(cè);
在線0.1μm塵埃粒子計(jì)數(shù)器在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng);
在線0.1μm塵埃粒子計(jì)數(shù)器遠(yuǎn)程環(huán)境在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)


















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